ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ° для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½ΡƒΠΆΠ½Π° – Для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ микросхСмы? Для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½ΡƒΠΆΠ΅Π½ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сдвиговый рСгистр?

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ — для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹?

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹Β https://neru5.ru/index.php?route=product/category&path=70 — это устройства, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Ρ‹ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ корпус. ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ, обладая Ρ†Π΅Π»Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ возмоТностСй, Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π°. ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ пластиковый, мСталличСский ΠΈ кСрамичСский корпус, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² Π΅Π΅ отвСрстиях. Π‘Ρ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ устройства Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ зависит ΠΎΡ‚ Π΅Π΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»Π° — опрСдСляСтся Ρ‚ΠΈΠΏ микросхСмы ΠΏΠΎ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅, нанСсСнной Π½Π° Π΅ корпус — ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ микросхСм наносит свой сСрийный Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ микросхСм ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΈΠΏ: ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ, плСночная, гибридная, смСшанная.

Π’ зависимости ΠΎΡ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ сигнала микросхСмы Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° 3 Π²ΠΈΠ΄Π°:

  • Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ — стабилизаторы напряТСния, микросхСмы для источников питания, Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Ρ‹, Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ;
  • Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Β — микропроцСссоры, микросхСмы памяти, Π΄Π΅ΡˆΠΈΡ„Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈ Ρ‚.Π΄.;
  • Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎ-Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Β — Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎ-Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы, модуляторы, дСмодуляторы;Β 

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² усилитСлях элСктричСских сигналов, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π² акустичСских систСмах, усилитСлях Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… частот. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ этого, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ стабилизатор напряТСния Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ±ΠΎΠΉΡ‚ΠΈΡΡŒ Π±Π΅Π· микросхСм, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ напряТСниСм Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ стабилизаторы. БоврСмСнная ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ ΠΈ мобильная Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ°, Π±ΡƒΠ΄ΡŒ Ρ‚ΠΎ Π½ΠΎΡƒΡ‚Π±ΡƒΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ смартфон, содСрТат микросхСмы.

Π’ тСхничСской ΠΈ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ для изготовлСния космичСских спутников, Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡˆΠ½Ρ‹Ρ… судов, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π² устройствах, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Π² Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ микросхСмы 90 Π½ΠΌ. ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ для этих Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ довольно ΡƒΡΡ‚Π°Ρ€Π΅Π²ΡˆΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ изготовлСния? ВсС Π΄Π΅Π»ΠΎ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокотСхнологичных микросхСмах, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ слоя 60 Π½ΠΌ ΠΈ мСньшС, Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ ΡΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ эффСкт, связанный с влияниСм статичСского элСктричСства ΠΈ воздСйствиСм Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… источников ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ излучСния.

Π’ нашСм ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π½Π΅Ρ‚-ΠΌΠ°Π³Π°Π·ΠΈΠ½Π΅ https://neru5.ru/Β Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ приобрСсти микросхСмы Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΡƒΠΆΠ΅ довольно «Ρ€Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅» производства Π‘Π‘Π‘Π . На вСсь Ρ‚ΠΎΠ²Π°Ρ€ распространяСтся гарантия, для ΠΏΠΎΠΊΡƒΠΏΠ°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ· Ρ€Π΅Π³ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² дСйствуСт доставка Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ транспортными компаниями ΠΈΠ»ΠΈ ΠŸΠΎΡ‡Ρ‚ΠΎΠΉ России. Π“Ρ€Π°ΠΌΠΎΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π’Π°ΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ с Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ элСктронного устройства, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ°Ρ‚ ΠΈΡ… Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ.

Β 

ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ΅ сСрдцС элСктроники – ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚Ρ‹ Π½Π° Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹Π΅ вопросы

ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ микросхСмы

Главная Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° микросхСмы — быстрая ΠΈΒ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ зависит ΠΎΡ‚Β Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ².Β 

Один ΠΈΠ·Β Π½ΠΈΡ…Β β€” это тактовая частота Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹. Π’Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ Ρ‡ΠΈΠΏΠ° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ транзистор ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΎΡ‚Β Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ, поэтому ΠΈΡ…Β Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΈΠ½Ρ…Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ. Для этого ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ† в качСствС Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° частоты. ΠžΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅Π³ΠΎ вся информация пСрСдаСтся с заданной частотой Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°. Π§Π΅ΠΌ Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ частота, Ρ‚Π΅ΠΌ большС пСрСдаСтся ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. БыстродСйствиС всСй систСмы опрСдСляСт и рСзистивная Смкостная Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ° элСмСнта — это Π½Π΅Β Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ число транзисторов, Π½ΠΎΒ ΠΈΒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΡ…Β ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ микросхСм

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ. Они ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈΒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ, которая сводится ΠΊΒ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Π°ΠΌ и нулям и выраТаСтся Π±ΡƒΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ Π°Π»Π³Π΅Π±Ρ€ΠΎΠΉ. Π˜Π·Β ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ устройства — ΠΎΡ‚Β Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² двиТСния до срСдств машинного зрСния ΠΈΒ ΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… пылСсосов.Β 

До массового распространСния микросхСм распылитСли Тидкости ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π°Π·Π° Π²Β Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ Π±Ρ‹Π»ΠΈ мСханичСскими. Ѐорсунка Π½Π°ΡΡ‚Ρ€Π°ΠΈΠ²Π°Π»Π°ΡΡŒ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π±Π΅Π½Π·ΠΈΠ½ впрыскивался Π²Β ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΠΊ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ. БСйчас ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ снабТСны ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π»Π΅Ρ€ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ управляСт Ρ‚ΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½Π°ΠΌΠΈΒ β€” Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ расход Π³ΠΎΡ€ΡŽΡ‡Π΅Π³ΠΎ.
ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π²Β Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°Ρ… влаТности Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° на основС оксида ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°. НапримСр, кондСнсатор, Π²Β ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ в качСствС диэлСктрика ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ пористый оксид ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°, мСняСт свою Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ, Ссли Π²Β Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ΄Π°. Рядом с кондСнсатором присутствуСт ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ схСма, которая Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ и опрСдСляСт Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ влаТности.

Поломки микросхСм

НаиболСС уязвимая Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ микросхСмы — это p-n-ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄, основная Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ транзистора. ΠœΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ p- ΠΈΒ n-областями образуСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ слой, Π²Β ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ‚ свободных носитСлСй заряда. Если в эту Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ высокоэнСргСтичСская частица — ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ от солнца ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π²Π΅Π·Π΄Ρ‹,Β β€” Ρ‚ΠΎΒ ΠΎΠ½Π° вносит носитСлСй заряда, и появляСтся Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠΊ носитСлСй заряда. Π’Β ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Π΅ это ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ логичСской Ρ†Π΅ΠΏΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Π΅.

Из-Π·Π° этой особСнности для Π²ΠΎΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½ΡƒΠΆΠ΄ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ΅ врСмя использовали Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π°Β Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… Π»Π°ΠΌΠΏΠ°Ρ…. Вранзисторный ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊ Π²Ρ‹ΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ из строя ΠΏΡ€ΠΈ ядСрном Π²Π·Ρ€Ρ‹Π²Π΅ от высокоэнСргСтичных ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ², Π΄Π°ΠΆΠ΅ Ссли устройство Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎΡΡŒ Π΄Π°Π»Π΅ΠΊΠΎ от эпицСнтра, Π°Β ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊ Π½Π°Β Π»Π°ΠΌΠΏΠ°Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΈΡ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ.

P-n-ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ в микросхСмах ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°Ρ‚ΡŒΡΡ и по СстСствСнным ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌ. Когда Ρ‡ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚, выдСляСтся Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ Π²Β Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… количСствах. УскоряСтся диффузия (Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² вСщСств) элСмСнтов мСталличСских соСдинСний и примСси, ΡΒ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΒ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ p- ΠΈΒ n-ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹. Π’Β ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Π΅ p-n-ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ исчСзаСт.Β 

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Π°Ρ микросхСма πŸ™‚ / Habr


ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ€Π°Π΄ Π² подробностях Ρ€Π°ΡΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎ своСй ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ схСмС ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ пСрипСтиями этого ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ занимался Π½Π° протяТСнии ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ»ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΠΎΠ΄Π°. НадСюсь, ΠΌΠΎΠΉ успСх Π²Π΄ΠΎΡ…Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½Π°Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΡŽ Π² производствС Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… микросхСм. Когда я приступил ΠΊ этому ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Ρƒ, Ρ‚ΠΎ понятия Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π», Π²ΠΎ Ρ‡Ρ‚ΠΎ ввязался, Π½ΠΎ Π² ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Π΅ ΡƒΠ·Π½Π°Π» большС, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π°-Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π΄ΡƒΠΌΠ°Π», ΠΎ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅, Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΈ, ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ΅, элСктроникС ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… областях.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΌΠΎΠΈ усилия ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡŒ лишь самыми ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΎΡ‚Π·Ρ‹Π²Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΎΠΉ со всСго ΠΌΠΈΡ€Π°. Π˜ΡΠΊΡ€Π΅Π½Π½Π΅ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ€Π΅Π½ всСм, ΠΊΡ‚ΠΎ ΠΌΠ½Π΅ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π», Π΄Π°Π²Π°Π» совСты ΠΈ вдохновлял Π½Π° этот ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚. ОсобСнно ΠΌΠΎΠΈΠΌ ΡƒΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ родитСлям, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ всСгда ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈ ΠΏΠΎΠΎΡ‰Ρ€ΡΡŽΡ‚ мСня ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚, Π½ΠΎ ΠΈ прСдоставили Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ мСсто ΠΈ ΡΠΌΠΈΡ€ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ с Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽβ€¦ Бпасибо!

Π‘Π΅Π· Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΡ… Ρ†Π΅Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ схСму (ИБ), ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ литографичСским способом Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… (Π³Π°Ρ€Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ…) условиях — PMOS-Ρ‡ΠΈΠΏ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ усилитСля Z1.


Π― Π³ΠΎΠ²ΠΎΡ€ΡŽ Β«ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ литографичСским способом», ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π”ΠΆΠ΅Ρ€ΠΈ Эллсуорт ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΠ»Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ транзисторы ΠΈ логичСскиС Π²Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ»ΠΈ (с соСдинСниями, Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ проводящСй эпоксидной смолой) ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»Π° ΠΌΠΈΡ€Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ это Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ. Π’Π΄ΠΎΡ…Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π΅Ρ‘ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ, я ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы, созданныС ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ, стандартным фотолитографичСским процСссом. ИзлишнС Π³ΠΎΠ²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ это логичСский шаг Π²ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‘Π΄ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΌΠΎΠΈΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ, Π³Π΄Π΅ я воспроизвёл ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ транзистор Π”ΠΆΠ΅Ρ€ΠΈ.


Π― Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π» ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ Z1, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° искал простой Ρ‡ΠΈΠΏ для тСстирования ΠΈ настройки своСго процСсса. ΠœΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ сдСлан Π² Magic VLSI для процСсса PMOS с Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€ΡŒΠΌΡ масками (активная/лСгированная ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, ΠΏΠΎΠ΄Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ оксид, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ ΠΈ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΈΠΉ мСталличСский слой). Π£ PMOS Π΅ΡΡ‚ΡŒ прСимущСство ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ NMOS, Ссли ΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ примСси ΠΈΠ·-Π·Π° изготовлСния Π² Π³Π°Ρ€Π°ΠΆΠ΅. Маски Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ с ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ сторон 16:9 для упрощСния ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.


ΠœΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ Magic VLSI


ГСнСрация маски


Активная ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ


Π—Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€


ΠšΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚


ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ 175 ΠΌΠΊΠΌ, хотя Π½Π° Ρ‡ΠΈΠΏΠ΅ для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ элСмСнты Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ Π΄ΠΎ 2Β ΠΌΠΊΠΌ. КаТдая сСкция усилитСля (Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΈ правая) содСрТит Ρ‚Ρ€ΠΈ транзистора (Π΄Π²Π° для Π΄Π²ΡƒΡ…Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ схСмы с ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠΌ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π² качСствС источника Ρ‚ΠΎΠΊΠ°/Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзистора), Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ слоТности ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΡŒ транзисторов Π½Π° ИБ. Π’ Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ части рСзисторы, кондСнсаторы, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ тСстовыС элСмСнты, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ характСристики тСхпроцСсса. ΠšΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π» Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚ΠΎΠΌ Π½Π° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°ΠΌΠΊΠ΅, поэтому Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ, Π° ΠΏΡ€ΠΈ нСобходимости Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ внСшнСС смСщСниС.


ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ изготовлСния состоит ΠΈΠ· 66 ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… шагов ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ 12 часов. Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ достигаСт 80% для Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… элСмСнтов, Π½ΠΎ сильно зависит ΠΎΡ‚ количСства Π²Ρ‹ΠΏΠΈΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡ„Π΅ Π² ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ дСнь. Π― Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ записал Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎ Π½Π° YouTube ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠΈ производства микросхСм ΠΈ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ± ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ МОП-транзисторов.

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ пластины 50 ΠΌΠΌ (2″) Ρ€Π°Π·Π±ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° кристаллы 5,08Γ—3,175Β ΠΌΠΌ (ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 16Β ΠΌΠΌΒ²) Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠΌ Epilog. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ кристалла Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ½ помСщался Π² 24-ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ DIP-корпус Kyocera.


ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π° N-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° 50 ΠΌΠΌ


ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π° N-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° 50 ΠΌΠΌ

Π‘Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° с пластины снимаСтся нативная окись быстрым ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Ρ€Π°Π·Π±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ интСнсивной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ смСсью Β«ΠΏΠΈΡ€Π°Π½ΡŒΡΒ» (смСсь сСрной кислоты ΠΈ пСрСкиси Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°), смСсью RCA 1 (Π²ΠΎΠ΄Π°, Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠΈΡΡŒ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°), смСсью RCA 2 (Π²ΠΎΠ΄Π°, соляная кислота, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠΈΡΡŒ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°) ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎ Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄.

Π—Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ окисСл тСрмичСски выращиваСтся Π² водяном ΠΏΠ°Ρ€Π΅ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° (Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ оксидированиС) Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ 5000βˆ’8000Β Γ….


Π’Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ тСрмичСскоС оксидированиС


Π’Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ тСрмичСскоС оксидированиС


Врубчатая ΠΏΠ΅Ρ‡ΡŒ


ΠžΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ пластина

ΠžΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ пластина Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π° ΠΊ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ рисунка Π½Π° Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ/Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ (Π -Ρ‚ΠΈΠΏΠ°) области. ЀоторСзист AZ4210 наносится Π½Π° Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽΡΡ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Π½Π° 3000 ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΠΎΡ‚Π°Ρ… Π² ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΊΡƒ, формируя ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΡƒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 3,5Β ΠΌΠΊΠΌ, которая Π°ΠΊΠΊΡƒΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡƒΡˆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ 90Β°Π‘ Π½Π° элСктроплиткС.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ

ΠœΠ°ΡΠΊΡƒ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠΎΠΉ фотолитографичСский стСппСр Mark IV Π² ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚Π΅ с шагом 365Β Π½ΠΌ β€” ΠΈ структура отрабатываСтся Π² растворС гидроксида калия.


Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° рСзиста


Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° рСзиста


30-минутная ΠΏΠΎΠ΄ΡΡƒΡˆΠΊΠ°


Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹

ПослС этого структура рСзиста ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎ Π·Π°Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Π΅Π»Π° ΠΈ примСняСтся нСсколько Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ‚Ρ€ΡŽΠΊΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΅ сцСплСниС ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΎ врСмя ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ вытравливания Π²ΠΎ Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ пСрСносит эту структуру Π½Π° слой ΠΏΠΎΠ΄Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ оксида ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠΊΠ½Π° ΠΊ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠΌΡƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΡŽ для лСгирования. Π­Ρ‚ΠΈ Ρ€Π΅Π³ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·ΠΆΠ΅ станут истоком ΠΈ стоком транзистора.


Частицы Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€


Π›Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ кристаллы с Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ

ПослС этого производится Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ примСсСй ΠΈΠ· Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ источника. Π’ качСствС Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ источника примСняСтся диск Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Π±ΠΎΡ€Π°, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Ρ‘Π½Π½Ρ‹ΠΉ поблизости (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 2Β ΠΌΠΌ) ΠΎΡ‚ пластины Π² Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±Ρ‡Π°Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ. Как Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ Тидкостный источник ΠΈΠ· фосфорной ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ кислоты Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ растворитСлС β€” ΠΈ провСсти Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ стандартному процСссу прСднанСсСния/погруТСния Π²ΠΎ Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄/диффундирования/удалСния Π³Π»Π°Π·ΡƒΡ€ΠΈ.

Π’Ρ‹ΡˆΠ΅ΡƒΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡƒΡ‚Ρ‹Π΅ шаги формирования рисунка Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π²Π°ΠΆΠ΄Ρ‹ для ΠΏΠΎΠ΄Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ оксида ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя. ΠŸΠΎΠ΄Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ оксид Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΡŒΡˆΠ΅ (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ~750Β Γ…), Ρ‡Π΅ΠΌ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ оксид, поэтому Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ стоком/истоком Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ β€” ΠΈ Ρ‚Π°ΠΌ выращиваСтся Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ оксид. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ вся пластина ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡŒ Π½Π° шагС лСгирования, Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΊΠ½Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ мСталличСского слоя с Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·ΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ истока/стока.

Π’Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ всС транзисторы сформированы ΠΈ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ ΠΊ мСТсоСдинСниям с Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π½Π° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ Ρ€Π°ΠΌΠΊΡƒ. Π—Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ слой алюминия (400βˆ’500Β Π½ΠΌ) распыляСтся ΠΈΠ»ΠΈ тСрмичСски напыляСтся Π½Π° пластину. ΠΠ»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΉ Π±Ρ‹Π» Π±Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²Π·Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ (lift-off process), ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° сначала формируСтся фоторСзист, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ осаТдаСтся ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π».


Напылённый ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»


Напылённый ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»

Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π° слоС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° формируСтся рисунок ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΈ происходит Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² горячСй фосфорной кислотС, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ схСмы. Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ шаги ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ тСстированиСм β€” это Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ осмотр ΠΈ высокотСмпСратурный ΠΎΡ‚ΠΆΠΈΠ³ алюминия для формирования омичСских ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ° Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π° для ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ тСстирования.

Π£ мСня Π½Π΅Ρ‚ установки микросварки (ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽ поТСртвования!), поэтому сСйчас процСсс тСстирования ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ ΠΏΡ€ΠΎΡ‰ΡƒΠΏΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ пластины острым ΠΏΠΈΠ½Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ использованиСм ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ flip-chip (Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ Π²Ρ‹Ρ€ΠΎΠ²Π½ΡΡ‚ΡŒ) c ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„Ρƒ. Π”ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ эмпиричСски тСстируСтся Π² Ρ†Π΅ΠΏΠΈ для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ работоспособности.


ΠšΡ€ΠΈΠ²Π°Ρ IV


ΠšΡ€ΠΈΠ²Π°Ρ IV

ΠšΡ€ΠΈΠ²Π°Ρ FET Ids/Vds ΠΎΡ‚ с ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ устройства NMOS

ΠšΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ, эти ΠΊΡ€ΠΈΠ²Ρ‹Π΅ Π΄Π°Π»Π΅ΠΊΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… (Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС ΠΈΠ·-Π·Π° излишнСго сопротивлСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Ρ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²), Π½ΠΎ я оТидаю ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ характСристик, Ссли Ρ€Π°Π·Π΄ΠΎΠ±ΡƒΠ΄Ρƒ установку микросварки. Π­Ρ‚ΠΈΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ частично ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ отличия ΠΎΡ‚ кристалла ΠΊ кристаллу. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎ я добавлю Π½Π° эту страницу Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€ΠΈΠ²Ρ‹Π΅ IV, характСристики транзистора ΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ усилитСля.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹, Π²ΠΈΠ΄Ρ‹, свойства ΠΈ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅. ЧП Π‘ΠΊΡƒΠΏΠΊΠ° РЭК

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹, Π²ΠΈΠ΄Ρ‹, Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ микросхСм

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ° являСтся ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€Π½Ρ‹ΠΌ элСктронным Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠΌ, Π² корпус ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ «входят» пассивныС ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ радиоэлСктронныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ (транзистор, рСзистор, Π΄ΠΈΠΎΠ΄ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡ΠΈΠ΅). ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ РЭК Π² микросхСмС ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΎΡ‚ дСсяти Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… сотСн ΠΈ тысяч. Π”Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄Π½Π° соврСмСнная микросхСма ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠΉ замСняСт большой элСктронный Π±Π»ΠΎΠΊ Π² любом ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ: Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π΅, элСктронно-Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°ΡˆΠΈΠ½Π°Ρ…, часах, Ρ‚Π΅Π»Π΅Ρ„ΠΎΠ½Π°Ρ….

ВсСго лишь с Ρ‡Π΅Ρ‚Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΡŒ Π²Π΅ΠΊΠ° Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ Π½Π°Π·Π°Π΄ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ всСх стран, спСциалисты Π² радиоэлСктронной области Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ сСбС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ элСктронная Π»Π°ΠΌΠΏΠ° Π² скором Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΡƒΡΡ‚ΡƒΠΏΠΈΡ‚ΡŒ своС Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ мСсто Π² Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈ элСктроаппаратурС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ дСталям, транзисторам, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΈ транзисторы постСпСнно Π½Π°Ρ‡Π½ΡƒΡ‚ ΡΠ΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ свои ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ, уступив своС мСсто ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌ новСйшСго поколСния – микросхСмам. На сСгодняшний дСнь наибольшСС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма (ИМБ).

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ микросхСм

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ микросхСм ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ использованиС практичСски Π²ΠΎ всСх сфСрах ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. МоТно ΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π³Π΄Π΅ сущСствуСт ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠ΅-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°, Ρ‚Π°ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈ микросхСмы:

  • РадиоэлСктронная ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ;
  • ΠœΠ΅Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠ½Π°;
  • ВоСнная ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΡΠ»ΡŒ;
  • Авиация ΠΈ космичСская сфСра;
  • ΠšΠΎΡ€Π°Π±Π»Π΅ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅;
  • Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ приборостроСниС ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ отрасли.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ производят Π² пластмассовом, мСталличСском, кСрамичСском корпусС, Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° корпуса зависит ΠΈ Ρ†Π΅Π½Π° Π½Π° устройство. На ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ влияСт ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ микросхСмы, наносимоС Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ.

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ создания микросхСмы

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Ρ‹, Π±Ρ‹Π»ΠΈ тяТСловатыми, ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с соврСмСнными, слСгка ΡƒΡ€ΠΎΠ΄Π»ΠΈΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ, Π½Π΅Π°ΠΊΠΊΡƒΡ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΡΡŽΠ΄Ρƒ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‡Π°Π»ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°. Но Π΄Π°ΠΆΠ΅ такая «микросхСма», Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‚ΠΈΠΏ соврСмСнной, всС-Ρ‚Π°ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π»Π°.
Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы нашли своС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ производствС Π½Π΅ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π΄Π°Π²Π½ΠΎ, Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° этого устройства Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π°ΡΡŒ Π΅Ρ‰Π΅ Π»Π΅Ρ‚ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΡŒΠ΄Π΅ΡΡΡ‚ Π½Π°Π·Π°Π΄ амСриканским ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠΌ Π”ΠΆΠ΅ΠΊΠΎΠΌ Килби. Π’ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‚ΠΈΠΏ Π±Ρ‹Π» ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ Π”ΠΆΠ΅ΠΊΠΎΠΌ своСму Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΡΡ‚Π²Ρƒ Π² 1958 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ. А Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΡΡŒ это Π»Π΅Ρ‚Π½ΠΈΠΌ ΠΆΠ°Ρ€ΠΊΠΈΠΌ Π΄Π½Π΅ΠΌ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° практичСски всС слуТащиС ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»Π° Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ Π² отпускС, Килби сидСл ΠΈ Π»Π΅Π½ΠΈΠ²ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΡ‹ΡˆΠ»ΡΠ», ΠΊΠ°ΠΊ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΊΠΎΠ΅ устройство. И Ρ‚ΡƒΡ‚ Π΅Π³ΠΎ осСнило, Ρ‡Ρ‚ΠΎ эффСктивно ΠΈ ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚, Ссли ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, Π½Π΅ просто транзистор, Π° всю ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ схСму, помСстив Π΅Π΅ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ. Боздавался ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ Π² ΠΌΠΈΡ€Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‚ΠΈΠΏ «микросхСмы» Π½Π° Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ пластинС, Π½Π° Π½Π΅Π΅ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ встроил Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ элСктричСской Ρ†Π΅ΠΏΠΈ, которая ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Π»Π° Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠΊ постоянный. ВсС Π±Π»ΠΎΠΊΠΈ МБ Π±Ρ‹Π»ΠΈ соСдинСны мСталличСскими ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠ°ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ, Π° Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ Π² подвСсном состоянии. Всё это выглядСло ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½Π΅Π»Π΅ΠΏΠΎ, Π½ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π»ΠΎ. Π‘ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΈ мноТСством ΡƒΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ, микросхСму Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ сСрийно, Π½ΠΎ всС ΠΆΠ΅ эта Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎ Π½Π΅ дотягивала Π΄ΠΎ своСго названия Β«ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΒ». Π’ 2000 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ Килби ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» ΠΠΎΠ±Π΅Π»Π΅Π²ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€Π΅ΠΌΠΈΡŽ Π·Π° Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹, ΠΈΡ… Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΏΠΎ тСхнологичСскому производству

Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅;
Π“ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅;
ΠŸΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅;
Π‘ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π½Π½Ρ‹Π΅.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΡƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ сигнала

Π¦ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы

  • ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ°;
  • МБU;
  • МБ памяти;
  • Π’Ρ€ΠΈΠ³Π³Π΅Ρ€;
  • РСгистр;
  • Π¨ΠΈΡ„Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€;
  • Π‘ΡƒΠΌΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΡ€;
  • ΠœΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΠΈΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΡ€Ρ‹.

АналоговыС микросхСмы

  • стабилизаторы Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, напряТСния;
  • микросхСмы, ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹ΠΌ источником питания;
  • Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ сигнала;
  • ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ сигнала;
  • Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ;
  • Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ.

Аналогово-цифровая МБ

  • АналоговыС, Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ
  • ВрансивСры
  • ΠšΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹
  • ΠœΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΡΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹/дСмодуляторы ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹, Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ ΠΈΠ· строя, Π½Π΅ всСгда ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Ρƒ. Если Ρƒ вас скопилось Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ количСство ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, МБ Π±/Ρƒ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ…, Π½ΠΎ ΠΌΠΎΡ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΡΡ‚Π°Ρ€Π΅Π²ΡˆΠΈΡ…, ΠΌΡ‹ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅ΠΌ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ нашСй ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ.

Π”Π΅Π»Π°Π΅ΠΌ микросхСмы Π΄ΠΎΠΌΠ° β€” шаги 0 ΠΈ 1 / Habr

Π’ этой ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ я расскаТу ΠΎ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ своСй Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π½Π°Π΄ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎ бСзбашСнной Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ: конСчная Ρ†Π΅Π»ΡŒ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ микросхСму ΠΏΠΎ «толстым» Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°ΠΌ (5-10Β΅m) Π΄ΠΎΠΌΠ°. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ΅ апрСля ΠΈ я Π½Π΅ ΡΡƒΠΌΠ°ΡΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠΉ, это просто ΠΌΠΎΡ‘ Ρ…ΠΎΠ±Π±ΠΈ.

Π’ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»Π° эта идСя Π½Π΅ сСйчас ΠΈ нСспроста. Π‘ дСтства я Ρ…ΠΎΡ‚Π΅Π» Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ газосварщиком, и… Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ микросхСмы. И Ссли ΠΏΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡƒΠ½ΠΊΡ‚Ρƒ ΠΌΠ½Π΅ достаточно быстро ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠΌΠ° сварочный Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ (Π±ΡƒΡ‚Π°Π½-Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄/кислород), Ρ‚ΠΎ с микросхСмами всС Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ ΡΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°Π»ΠΎΡΡŒ. Π”ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ΅ врСмя всС мысли ΠΎΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ я Π½Π΅ Π·Π½Π°Π» Π³Π΄Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²Π·ΡΡ‚ΡŒ собствСнно ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ чистоты (ΠΈ мысли ΠΎΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π½Π° ковырянии ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… транзисторов), ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π° Ρ„ΠΎΡ€ΡƒΠΌΠ΅ Π½Π΅ подсказали Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ΅, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈ ΠΊΡƒΠΏΠΈΡ‚ΡŒ пластины. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ я Π΄Π°ΠΆΠ΅ наткнулся Π½Π° Ρ‡Π΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ 20 Π»Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π» Π½Π°Π΄ ΠΏΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΅ΠΉ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ, ΠΈ Π² ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Π΅ сдался. ΠŸΠΎΠΆΠ°Π»ΡƒΠΉ, Ρ‚ΡƒΡ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€ΡƒΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ врСмя Π½Π° Π³Π»ΡƒΠΏΡ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‡Ρ‚Ρ‹. Но, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΆΠ΄Ρ‹ я ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Π» Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊ Ρ‡ΡƒΠ΄ΠΎΠ²ΠΈΡ‰Π½ΠΎ гСниальной ΠΆΠ΅Π½Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ – Jeri Ellsworth – ΠΎΠ½Π° смогла ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅ транзисторы Π½Π° основС заводских пластин – ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° я Ρ€Π΅ΡˆΠΈΠ», Ρ‡Ρ‚ΠΎ настало врСмя ΠΏΠΎΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Π΅Π΅ Π·Π°Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ этой ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ.

Π’ этой ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΡΡ… я расскаТу ΠΎ своём Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΌ прогрСссС, Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΆΠ΄ΠΈΡ‚Π΅ быстрого продолТСния – вСсь процСсс ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π·Π°Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Ρƒ Π»Π΅Ρ‚.

Π¨Π°Π³ 0:

Π‘Ρ‹Π»ΠΈ скуплСны всС ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ ΠΏΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠ΅ ΠΈΠ· мСстных Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€Π½Π΅Ρ‚-ΠΌΠ°Π³Π°Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ² (ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π°Π· Π½Π° 1 ΠΏΠΎΠ»ΠΊΡƒ), ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΠΊΠ°Ρ‡Π°Π½Ρ‹ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΡ€Ρ€Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² всС доступныС сборники ΠΎΡ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ½ΠΈΠ³. ВСорСтичСской ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚Π°ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, Π½ΠΎ с практичСской стороны – ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎ ΠΌΡ€Π°ΠΊΠΎΠΌ. Π”Π°ΠΆΠ΅ старыС тСхпроцСссы Π² дСталях Π½Π΅ описаны Π½ΠΈΠ³Π΄Π΅, ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ придСтся ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Ρ‹Π» ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π½Π΅Ρ‚ Π² поисках мСстных поставщиков всСх ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (собствСнно ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, фоторСзисты, химия, Π³Π°Π·Ρ‹). Пока Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π½ΡƒΡŽ компанию которая ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π°ΡΡ„Π΅Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΡƒ ΠΈΠ· оптичСского/ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ стСкла – Π½ΠΎ это Π² блиТайший Π³ΠΎΠ΄ Π½Π΅ станСт прСпятствиСм.
Π¨Π°Π³ 1: ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ

ΠœΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ – сСрдцС домашнСй микросхСмы. Π’Ρ‹Ρ€Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠΌΠ° – Ρ…ΠΎΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ (ΠΏΠΎ ΠΌΠΎΠΈΠΌ Π±Π΅Π·ΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ€ΠΊΠ°ΠΌ), Π½ΠΎ чСртовски Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ. ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ я стал Π³ΡƒΠ³Π»ΠΈΡ‚ΡŒ мСстных ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ крСмния – ΠΊΡ‚ΠΎ-Ρ‚ΠΎ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡ€ΠΈΠ» Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ свСрнули производство ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ сдачСй ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² Π°Ρ€Π΅Π½Π΄Ρƒ, ΠΊΡ‚ΠΎ-Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π», ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ† я Π½Π΅ дошСл Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ВСрасил – Ρ‚Π°ΠΌ я Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ† смог ΠΊΡƒΠΏΠΈΡ‚ΡŒ всС Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ½Π΅ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ. Π‘Π°ΠΌΠΎΠ΅ Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ – Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ пластины монокристалличСского крСмния Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² P ΠΈ N Ρ‚ΠΈΠΏ (справа Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ).

Π”Π°Π»Π΅Π΅ – ΠΊΡƒΡ‡Π° Ρ€Π°Π·Π±ΠΈΡ‚Ρ‹Ρ… пластин для Ρ‚Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ Ρ€Π°ΡΠΊΠ°Π»Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ пластину Π½Π° кусочки (оказалось, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ всС с ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ 111 – Ρ€Π°ΡΠΊΠ°Π»Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€Π΅ΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π° Π½Π΅ ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ). Π’.ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ Π΅Ρ‰Π΅ Π½Π΅ ΠΎΡ‚ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ – я ΠΏΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Π» ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ – ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π°Π» ΠΏΠΎΠ»Π½Ρ‹ΠΉ: паста Π³ΠΎΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ Π±Π΅Ρ€Π΅Ρ‚, Π½ΡƒΠΆΠ½Π° алмазная паста. Если со Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ получится ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ солнСчныС Π±Π°Ρ‚Π°Ρ€Π΅ΠΈ (Π° ΠΈΠ· монокристалличСского крСмния ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ довольно эффСктивныС).

И Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ† – кусочки монокристалличСского крСмния. Π’Π΅ Ρ‡Ρ‚ΠΎ толстыС слСва – погрязнСС (Π½ΠΎ достаточно чистыС для микросхСм), 2 Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Π½ΡŒΠΊΠΈΡ… справа – свСрхчистыС, Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ чистоты крСмния для ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… микросхСм. Π‘Π°ΠΌΠΎ собой, Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠΌΠ° Π½Π΅ Π²Ρ‹ΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ (Ссли ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π΅ завалялась алмазная дисковая ΠΏΠΈΠ»Π°) – Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ€Π°Π·Π±ΠΈΡ‚ΡŒ. НуТны для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠ³ΠΎ крСмния химичСским (PE CVD Sih5) ΠΈΠ»ΠΈ физичСским (испарСниС Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅) ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ.

КакиС дальшС стоят Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ

  • Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ – ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ Π½Π° 1200 градусов для малСнького ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. ΠŸΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ Π² ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ‚ΠΈΡ€Π΅ Π½Π΅ ΠΏΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ, ΠΈ стоят ΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ. ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π±ΡƒΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ Π»Π°ΠΌΠΏΠ°ΠΌΠΈ с Ρ€Π΅Ρ„Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ.
  • ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΅Π·Π΄ Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ‚ΠΈΡ€Ρƒ: мСня сразу выгонят ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Π² Π±ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΡƒΠΆΠΈΠΊΠ° Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ³Π°Π·Π΅ ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ°Ρ… с ΠΊΡƒΡ‡Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ·Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π±Π°Π½ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ.
  • Π”Π°Π»Π΅Π΅ – нСобходимая химия ΠΈ фоторСзисты – ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ 1 транзистор ΠΏΠΎ процСссу Jeri.
Π§Ρ‚ΠΎ я ΠΈΡ‰Ρƒ ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ Π½Π°Ρ…ΠΎΠΆΡƒ

Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ – это информация. Π₯ΠΎΡ‚Π΅Π»ΠΎΡΡŒ Π±Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Ρ‹ людСй, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° производствС – вСдь я собСру всС Π³Ρ€Π°Π±Π»ΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈ собирали послСдниС 50 Π»Π΅Ρ‚ Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ – информация ΠΎ тСхпроцСссах ΠΈ Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ – Π±ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ толстыС тСхпроцСссы – ΠΏΠΎΠΊΠ° ΠΌΠ½Π΅ ΠΈΡ… Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ, Π° ΠΈΠ· ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… транзисторов особо Π½Π΅ ΠΏΠΎ-ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΡˆΡŒ. Ну ΠΈ Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ†, Ρ…ΠΎΡ‡Ρƒ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° ASIC, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π» Π±Ρ‹ ΠΌΠ½Π΅ основныС шаги Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ (ΠΊΠΎΠ΅-Ρ‡Ρ‚ΠΎ я Π΄ΡƒΠΌΠ°ΡŽ Ρ‡Ρ‚ΠΎ знаю, Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΠΎΠ² ΠΈ я ΠΌΠΎΠ³Ρƒ ΠΎΡˆΠΈΠ±Π°Ρ‚ΡŒΡΡ сильно). По всСм этим вопросам ΠΏΡ€ΠΈΠ³Π»Π°ΡˆΠ°ΡŽ Π½Π° Ρ„ΠΎΡ€ΡƒΠΌ ΠΏΠΎ этому ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Ρƒ (English only).

ΠšΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΈ / мнСния β€” Π² ΡΡ‚ΡƒΠ΄ΠΈΡŽ.

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° β€” ВикипСдия

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° со смонтированными Π½Π° Π½Π΅ΠΉ элСктронными ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ. Гибкая пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° с установлСнными дСталями ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. Π§Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² CAD-ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ΅ ΠΈ готовая ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π”Π²Π΅ ΠΌΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ для ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π»Π΅Ρ€Π° ATmega8. На Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅: свСрху мСсто для силовых транзисторов, ΠΏΠΎΠ΄ Π½ΠΈΠΌ Ρ€Π°Π·ΡŠΡ‘ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Π°. Π’ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ мСсто для микросхСмы, слСва ΠΎΡ‚ Π½Π΅Ρ‘Β β€” мСсто для Β«ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°Β». По ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ питания ΠΈ Β«Π·Π΅ΠΌΠ»ΠΈΒ».

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°ΜΡ‚Π½Π°Ρ пла́та (Π°Π½Π³Π».Β printed circuit board, PCB, ΠΈΠ»ΠΈ printed wiring board, PWB)Β β€” пластина ΠΈΠ· диэлСктрика, Π½Π° повСрхности ΠΈ/ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ сформированы элСктропроводящиС Ρ†Π΅ΠΏΠΈ элСктронной схСмы. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π° для элСктричСского ΠΈ мСханичСского соСдинСния Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ своими Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ с элСмСнтами проводящСго рисунка ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΎΠΉ.

Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ навСсного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ элСктропроводящий рисунок Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ ΠΈΠ· Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Ρ†Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠΌ располоТСнной Π½Π° Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄ΠΎΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ основС. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° содСрТит ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ для ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия для элСктричСского соСдинСния участков Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, располоТСнных Π½Π° Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… слоях ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Π‘ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… сторон Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ нанСсСны Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ («паяльная маска») ΠΈ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° (Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ рисунок ΠΈ тСкст согласно конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ).

Π’ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Π’ зависимости ΠΎΡ‚ количСства слоёв с элСктропроводящим рисунком ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π°:

  • односторонниС (ОПП): имССтся Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ слой Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Π½Π°ΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½Ρƒ сторону листа диэлСктрика;
  • двухсторонниС (Π”ΠŸΠŸ): Π΄Π²Π° слоя Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ;
  • многослойныС (МПП): Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π° Π΄Π²ΡƒΡ… сторонах ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Π½ΠΎ ΠΈ Π²ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоях диэлСктрика. ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ склСиваниСм Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… односторонних ΠΈΠ»ΠΈ двухсторонних ΠΏΠ»Π°Ρ‚[1].

По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ роста слоТности ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… устройств ΠΈ плотности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° увСличиваСтся количСство слоёв Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…[1].

По свойствам ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° основы:

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ свои особСнности Π² связи с ΠΈΡ… Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ трСбованиями ΠΊ особым условиям эксплуатации (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€), ΠΈΠ»ΠΈ особСнности примСнСния (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ для ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π° высоких частотах).

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Основой ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ слуТит диэлСктрик, Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΊΠ°ΠΊ стСклотСкстолит, гСтинакс.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ основой ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ΡŒ мСталличСскоС основаниС, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ΅ диэлСктриком (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ алюминий), ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… диэлСктрика наносится мСдная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² силовой элСктроникС для эффСктивного Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚ элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Для дальнСйшСго ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… характСристик мСталличСскоС основаниС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρƒ.

Π’ качСствС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° для ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π‘Π’Π§ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π΄ΠΎ 260Β Β°C, примСняСтся фторопласт, Π°Ρ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒΡŽ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ЀАЀ-4Π”)[2], ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ограничСния:

  • Π² ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ΅ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий, Π° Π² ЀАЀ-4Π” β€” мСталлизация отвСрстий;
  • сами ΠΏΠΎ сСбС Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ нСсущСй конструкциСй, поэтому ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ совмСстно с ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ (основаниСм).

Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ соврСмСнныС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π½ΠΎ Π½Π΅ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅.

Π“ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΏΡ‚ΠΎΠ½.

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ происходит Π² спСциализированных ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ°Ρ… Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ проСктирования. НаиболСС извСстны Altium Designer, P-CAD, OrCAD, TopoR, Specctra, Proteus, gEDA, KiCad ΠΈ Π΄Ρ€.[3] Π‘Π°ΠΌ процСсс конструирования Π² русском языкС часто ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡƒΡŽΡ‚ слСнговым словом Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠ°, подразумСвая процСсс ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Ρ‹[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Π’ России ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ стандарты Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΡΠΊΡƒΡŽ Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² Ρ€Π°ΠΌΠΊΠ°Ρ… Π•Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΉ систСмы конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ:

  • Π“ΠžΠ‘Π’ 2.123-93 «Единая систСма конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠšΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈΒ»;
  • Π“ΠžΠ‘Π’ 2.417-91 «Единая систСма конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° выполнСния Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΠ΅ΠΉΒ».

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ стандарты Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹:

  • Π“ΠžΠ‘Π’ Π  53386-2009 Β«ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. Π’Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ опрСдСлСния»;
  • Π“ΠžΠ‘Π’ Π  53429-2009 Β«ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ конструкции». Π’ России Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ стандарт Π·Π°Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ классы точности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ гСомСтричСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ основныС элСктричСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ диэлСктриков. Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ стандарт являСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π³ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ стандарта Π“ΠžΠ‘Π’ 23751-86;
  • Π“ΠžΠ‘Π’ 23752-79 Β«ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ тСхничСскиС условия». Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚ Ρ€Π΅Π³Π»Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ тСхничСскиС трСбования ΠΊ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌ, ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° ΠΏΡ€ΠΈΡ‘ΠΌΠΊΠΈ, ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ испытаний ΠΈ Π΄Ρ€.

Π’ΠΈΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ процСсс[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Рассмотрим Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ процСсс проСктирования ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ элСктричСской схСмС: [4]

  • ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ:
    • Π˜ΠΌΠΏΠΎΡ€Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ элСктричСской схСмы Π² Π±Π°Π·Ρƒ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… БАПР ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Как ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° схСмы выполняСтся Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ схСмотСхничСской БАПР. НСкоторыС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Ρ‹ БАПР содСрТат ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΊΠ°ΠΊ схСмотСхники, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ конструирования. Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ БАПР ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ схСмотСхничСского Ρ€Π΅Π΄Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° Π² своём составС, Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ импортируя ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ схСму популярных Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ².
    • Π’Π²ΠΎΠ΄ Π² БАПР ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² (Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΠ΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°, располоТСния ΠΈ назначСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€). ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ этом ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π±ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², поставляСмыС Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ БАПР.
    • Π£Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρƒ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ изготовитСля ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π΅Π³ΠΎ тСхнологичСских возмоТностСй (ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, количСство слоёв, класс точности, допустимыС Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ отвСрстий, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ ΠΈΒ Ρ‚.ΠΏ.). На основании этих Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… производится ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, количСства слоёв ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, класс точности, ΠΈ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΆΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ исходными Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ для конфигурирования DRC (см. Π½ΠΈΠΆΠ΅), ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ для автоматичСской Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ и для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π·Π²Π΅Π΄Ρ‘Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Π§Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»Π΅Π½ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ стСклотСкстолит Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 1,5Β ΠΌΠΌ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 18 ΠΈΠ»ΠΈ 35 ΠΌΠΊΠΌ.
  • ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹:
    • ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ конструкции ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΈ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, ΠΊΡ€Π΅ΠΏΡ‘ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ отвСрстия, максимально допустимая высота ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²). Π’Ρ‹Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² (ΠΊΡ€Π°Ρ‘Π²) ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Π²Ρ‹Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΡ‘ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… отвСрстий, областСй Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π° размСщСния ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ конструктивно-привязанных Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ: Ρ€Π°Π·ΡŠΡ‘ΠΌΠΎΠ², ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², ΠΊΠ½ΠΎΠΏΠΎΠΊ ΠΈ Π΄Ρ€. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ» располоТСния ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²: Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ областСй ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ шин питания; ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΠ° высокочастотных ΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ экранировки Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…Π°ΠΌ Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ ΠΈ Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉΒ β€” источников ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ….[5]
    • Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ автоматичСского ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ размСщСния ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ стрСмятся Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ всС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ двусторонний ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ Π² производствС.
    • Запуск автоматичСского трассировщика. ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π΅ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅Β β€” ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΈ Π΄Π²Π° шага Π·Π°Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡƒΡŽ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ дСсятки ΠΈΠ»ΠΈ сотни Ρ€Π°Π· подряд. Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях трассировка ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (отрисовка Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ) производится Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠ»ΠΈ частично.
    • ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° ошибки (DRC, Design Rules Check): ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° Π½Π° Π·Π°Π·ΠΎΡ€Ρ‹, замыкания, налоТСния ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€.
    • Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях трСбуСтся расчёт мСханичСских свойств ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹: частоты собствСнного мСханичСского рСзонанса ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ прочности. ΠŸΡ€ΠΈ нСобходимости ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ тяТёлых ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².
  • Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ:
    • Экспорт Ρ„Π°ΠΉΠ»Π° Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚, ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Gerber.
    • ΠžΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, согласно Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ стандартам, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ тСхничСскиС трСбования для изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹: Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ основания, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ свСрлСния всСх Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² отвСрстий, Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий (Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ паяльной маской ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅, Π»ΡƒΠΆΡ‘Π½Ρ‹Π΅), области Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΡ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΈΡ… Ρ‚ΠΈΠΏ, Ρ†Π²Π΅Ρ‚ паяльной маски ΠΈ Π΅Ρ‘ Ρ‚ΠΈΠΏ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, способ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ скрайбированиС) ΠΈΒ Ρ‚.ΠΏ. По согласованию с ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ трСбования ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ запискС.

Π’ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ошибки конструирования[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ часто ΡΡ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с Π½Π΅ΠΎΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ошибками конструирования Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ. НаиболСС Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ошибки[6]:

  • НСвСрный Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° свСрлСния отвСрстий для ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π’ процСссС изготовлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ просвСта отвСрстия ΡƒΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊ нСвозмоТности Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°.
  • Ошибки Π² согласовании Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ. Π Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Π° Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ припуска.
  • Ошибки ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ², отвСрстий, ΠΎΠΊΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ отвСрстий ΠΈΒ Ρ‚.ΠΏ. Π­Ρ‚ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ класс точности, Π°, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, Ρ†Π΅Π½Ρƒ ΠΈ сроки изготовлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Π”Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ элСмСнт с ΠΎΡˆΠΈΠ±ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ класс точности всСй ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.
  • НСравномСрноС распрСдСлСниС Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ³ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π½Π° ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½ΠΎΠ³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ послС ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ….
  • ΠžΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ·Π°Π·ΠΎΡ€Π° Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹ΠΌ Π·Π°Π»ΠΈΠ²ΠΊΠ°ΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ (ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ³ΠΎΠ½Π°ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌ) ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ затруднСниям ΠΈ Π±Ρ€Π°ΠΊΡƒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅: мСдь являСтся эффСктивным Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ затрудняСт ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π² мСста ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ.
  • Для ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΡ… Π»Π°ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ, слСдуСт ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ трСбования ΠΊ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Ρ€Π°Π·ΡŠΡ‘ΠΌΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΡ… Π»Π°ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π’ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ случаС растёт ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚ Π±Ρ€Π°ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π»Π°ΠΊΠ° Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Ρ‹ Ρ€Π°Π·ΡŠΡ‘ΠΌΠΎΠ².

Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ПП Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ субтрактивным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. Π’ Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ проводящий рисунок формируСтся Π½Π° Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ химичСского мСднСния Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π°Π½Π΅ΡΡ‘Π½Π½ΡƒΡŽ Π½Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΡƒΡŽ маску. Π’ субтрактивном ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ проводящий рисунок формируСтся Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ удалСния Π½Π΅Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… участков Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ. Π’ соврСмСнной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ примСняСтся ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ субтрактивный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄.

Π’Π΅ΡΡŒ процСсс изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ этапа:

  • Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ (Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°).
  • ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ получСния Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… элСктричСского ΠΈ мСханичСского Π²ΠΈΠ΄Π°.
  • ΠœΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².
  • ВСстированиС.

Часто ΠΏΠΎΠ΄ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ (Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°). Π’ΠΈΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ процСсс ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° состоит ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… этапов: свСрловка ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ удалСния излишков ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, мСталлизация отвСрстий, нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ ΠΈ Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, нанСсСниС ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ.[7] Для многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ добавляСтся прСссованиС ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ.

Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Π€ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Β β€” плоский лист диэлСктрика с Π½Π°ΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ. Как ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π² качСствС диэлСктрика ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ стСклотСкстолит. Π’ старой ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π΄Π΅ΡˆΡ‘Π²ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ тСкстолит Π½Π° Ρ‚ΠΊΠ°Π½Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΡƒΠΌΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ основС, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ гСтинаксом. Π’ Π‘Π’Π§-устройствах ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ фторсодСрТащиС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ (фторопласты). Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° диэлСктрика опрСдСляСтся Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ мСханичСской ΠΈ элСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространённая Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΊΠ°ΠΊ однослойных, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ составляСт порядка 1,5Β ΠΌΠΌ; для многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ слои диэлСктрика.

На диэлСктрик с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π²ΡƒΡ… сторон Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ сплошной лист ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ опрСдСляСтся Ρ‚ΠΎΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ проСктируСтся ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°. НаибольшСС распространСниС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 18 ΠΈ 35 ΠΌΠΊΠΌ, Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Ρ€Π΅ΠΆΠ΅ Π²ΡΡ‚Ρ€Π΅Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ 70, 105 ΠΈ 140 ΠΌΠΊΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ значСния исходят ΠΈΠ· стандартных Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΈΠΌΠΏΠΎΡ€Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°Ρ…, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ исчисляСтся Π² унциях (oz) Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ„ΡƒΡ‚. 18 ΠΌΠΊΠΌ соотвСтствуСт Β½ oz ΠΈ 35 ΠΌΠΊΠΌΒ β€” 1 oz. ΠŸΡ€ΠΈ Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… тСхнологиях изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π½Π΅Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ диэлСктрик.

ΠΠ»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]
Π‘Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ Π½Π° алюминиСвой ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅

ΠžΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ мСталличСскиС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ· алюминия. ΠΠ»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° трСбуСтся ΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Β β€” Π² свСтодиодных ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ…. Π˜Ρ… ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹.

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Π°Ρ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ°Β β€” Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ листа алюминия с качСствСнно оксидированной ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ Π½Π°ΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Π° мСдная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π°. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ нСльзя ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΡ‚ΡŒ, поэтому ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡ… Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ односторонними. ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² выполняСтся ΠΏΠΎ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ тСхнологиям химичСского нанСсСния рисунка. Иногда вмСсто алюминия ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ мСдь ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒ, Π»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ изолятором ΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ. МСдь ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π±ΠΎΜΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ обСспСчиваСт ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ.[8]

Вторая Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ° ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·ΡƒΠΌΠ΅Π²Π°Π΅Ρ‚ созданиС токопроводящСго рисунка нСпосрСдствСнно Π² алюминии основы. Для этой Ρ†Π΅Π»ΠΈ Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΉ лист ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΠΎ повСрхности, Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π° всю Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ основы согласно рисунку токопроводящих областСй, Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠΌ.[9][10]

ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ химичСскиС, элСктролитичСскиС ΠΈΠ»ΠΈ мСханичСскиС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ воспроизвСдСния Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ токопроводящСго рисунка, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π₯имичСский способ[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Π₯имичСский способ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΠ· Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° состоит ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… основных этапов: нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… участков химичСскими ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

Π’ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ слой наносится фотолитографичСским способом с использованиСм ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎ-Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста, Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° ΠΈ источника ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ свСта. ЀоторСзистом сплошь ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ мСдь Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ рисунок Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ с Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° пСрСносят Π½Π° фоторСзист засвСткой. ЗасвСчСнный фоторСзист смываСтся, обнаТая ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ для травлСния, нСзасвСчСнный фоторСзист фиксируСтся Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π΅, защищая Π΅Ρ‘ ΠΎΡ‚ травлСния.

ЀоторСзист Π±Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ. Π–ΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ фоторСзист наносят Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… условиях, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ чувствитСлСн ΠΊ нСсоблюдСнию Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ нанСсСния. ΠŸΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ фоторСзист популярСн ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅. Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ прСдставляСт собой Π£Π€-ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» с распСчатанным Π½Π° Π½Ρ‘ΠΌ рисунком Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. ПослС экспозиции фоторСзист проявляСтся ΠΈ закрСпляСтся ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΌ фотохимичСском процСссС.

Π’ Π»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΈΡ… условиях Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ слой Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π»Π°ΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ краски ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ нанСсСн ΡˆΠ΅Π»ΠΊΠΎΡ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ способом ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ. Π Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ для формирования Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ маски ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ пСрСнос Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π° с изобраТСния, ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ (Β«Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ-ΡƒΡ‚ΡŽΠΆΠ½Π°Ρ тСхнология»).

Под Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ химичСский процСсс ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ΄Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² растворимыС соСдинСния. НСзащищСнная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° травится, Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго, Π² растворС Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π² растворС Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ², Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ купороса, ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония, Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎ-Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ, Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎ-ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π° основС Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ², Π½Π° основС Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π°[11]. ΠŸΡ€ΠΈ использовании Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° процСсс травлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ΄Ρ‘Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ: FeCl3 + Cu β†’ FeCl2 + CuCl. Виповая концСнтрация раствора 400 Π³/Π», Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π΄ΠΎ 35β€―Β°C. ΠŸΡ€ΠΈ использовании ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония процСсс травлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ: (NH4)2S2O8 + Cu β†’ (NH4)2SO4 + CuSO4[11].

ПослС травлСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ рисунок с Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ смываСтся.

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ способ[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ способ изготовлСния ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ использованиС Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ-Π³Ρ€Π°Π²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… станков ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… инструмСнтов для мСханичСского удалСния слоя Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ с Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… участков.

ЛазСрная Π³Ρ€Π°Π²ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Π”ΠΎ Π½Π΅Π΄Π°Π²Π½Π΅Π³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ лазСрная Π³Ρ€Π°Π²ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π±Ρ‹Π»Π° слабо распространСна Π² связи с Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ свойствами ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространённых ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… Π³Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… БО Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ². Π’ связи с прогрСссом Π² области лазСростроСния сСйчас Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ установки прототипирования Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ².[12]

ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ отвСрстий[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ мСханичСски (Π² мягких ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠ° гСтинакса) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΆΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠΌ (ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия). ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ отвСрстий ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ выполняСтся химичСским ΠΈΠ»ΠΈ, Ρ€Π΅ΠΆΠ΅, мСханичСским способом.

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация отвСрстий выполняСтся ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»Ρ‘ΠΏΠΊΠ°ΠΌΠΈ, пропаянными ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°Π»ΠΈΠ²ΠΊΠΎΠΉ отвСрстия токопроводящим ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ (ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ пастой). ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ способ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ Π² производствС ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ примСняСтся ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎ, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΒ β€” Π² высоконадёТных ΡˆΡ‚ΡƒΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡΡ…, ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΈΡ… условиях ΠΏΡ€ΠΈ ΡˆΡ‚ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠΌ исполнСнии.

ΠŸΡ€ΠΈ химичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ сначала свСрлятся отвСрстия, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ осаТдСниСм ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌ производится Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ для получСния рисунка ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ. Π₯имичСская мСталлизация отвСрстий — многостадийный слоТный процСсс, Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊ качСству Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ² ΠΈ соблюдСнию Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π² Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΈΡ… условиях практичСски Π½Π΅ примСняСтся. Π£ΠΏΡ€ΠΎΡ‰Ρ‘Π½Π½ΠΎ состоит ΠΈΠ· Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… этапов:

  • НанСсСниС Π½Π° диэлСктрик стСнок отвСрстия проводящСй ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Π­Ρ‚Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ тонкая, нСпрочная. Наносится химичСским осаТдСниСм ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… соСдинСний, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄ палладия.
  • На ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ основу производится элСктролитичСскоС ΠΈΠ»ΠΈ химичСскоС осаТдСниС ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.
  • Π’ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅ производствСнного Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π° для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ довольно Ρ€Ρ‹Ρ…Π»ΠΎΠΉ осаТдённой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ примСняСтся Π»ΠΈΠ±ΠΎ горячСС Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π»ΠΈΠ±ΠΎ отвСрстиС защищаСтся Π»Π°ΠΊΠΎΠΌ (паяльной маской). НСлуТёныС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ качСства ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· самых частых ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·Π° элСктронной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ.
ΠŸΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (с числом слоёв ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 2) ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· стопки Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π²ΡƒΡ…- ΠΈΠ»ΠΈ однослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ способом (ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоёв ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°Β β€” ΠΈΡ… Π½Π° этом этапС ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ с Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½ΡƒΡ‚ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ). Π˜Ρ… ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ Β«Π±ΡƒΡ‚Π΅Ρ€Π±Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌΒ» со ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ (ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡ€Π΅Π³ΠΈ). Π”Π°Π»Π΅Π΅ выполняСтся прСссованиС Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ, свСрлСниС ΠΈ мСталлизация ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий. Π’ послСднюю ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… слоёв.[1] ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π²ΠΎ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… слоях увСличиваСтся Π½Π° Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ осаТдённой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, это Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ограничСния Π½Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия Π² Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π΄ΠΎ прСссования. Если отвСрстия Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΄ΠΎ прСссования, Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ Β«Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΠΌΠΈΒ» ΠΈ «слСпыми» отвСрстиями (ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° отвСрстиС Π΅ΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ слоС Β«Π±ΡƒΡ‚Π΅Ρ€Π±Ρ€ΠΎΠ΄Π°Β»), Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡƒΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΡƒ для слоТных ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Π‘Π΅Π±Π΅ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ производства Π² этих случаях ΠΎΡ‰ΡƒΡ‚ΠΈΠΌΠΎ возрастаСт, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ компромисса Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Ρ€ΠΎΠ΄Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

НанСсСниС ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ покрытия, ΠΊΠ°ΠΊ:

  • Π—Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎ-Π΄Π΅ΠΊΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ Π»Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ покрытия («паяльная маска»). ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Π·Π΅Π»Ρ‘Π½Ρ‹ΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚. ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ паяльной маски слСдуСт ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π½ΠΈΠΌΠΈ Π½Π΅ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².
  • Π”Π΅ΠΊΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ-ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ покрытия (ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°). ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ наносится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡˆΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ, Ρ€Π΅ΠΆΠ΅Β β€” струйным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠΌ.
  • Π›ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π—Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ выполняСтся ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π²Π°Π½Π½Ρƒ с ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ припоя. Основной нСдостаток — Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° покрытия, Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΡΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² высокой плотности. Для ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ излишСк припоя ΠΏΡ€ΠΈ Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΄ΡƒΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π°.
  • Π₯имичСскиС, иммСрсионныС ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ покрытия Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΌ, сСрСбром, ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΈΒ Ρ‚.Β ΠΏ.). НСкоторыС Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ наносятся Π΄ΠΎ этапа травлСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.[13][14]
  • ΠŸΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ токопроводящими Π»Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ для ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… свойств Ρ€Π°Π·ΡŠΠ΅ΠΌΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ»Π°Π²ΠΈΠ°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΈΠ»ΠΈ создания Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

ПослС ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ нанСсСниС Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ, Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ саму ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹.

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

На ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ листС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π·Π°Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡƒΡŽ помСщаСтся мноТСство ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Π’Π΅ΡΡŒ процСсс ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΠ½ΠΈ проходят ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°, ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅ ΠΈΡ… готовят ΠΊ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ. Если ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅, Ρ‚ΠΎ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΡƒΡŽΡ‚ нСсквозныС ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΈ, ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (скрайбированиС, ΠΎΡ‚ Π°Π½Π³Π».Β scribe Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠ°Ρ‚ΡŒ). Если ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ слоТной Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹, Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½ΡƒΡŽ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ, оставляя ΡƒΠ·ΠΊΠΈΠ΅ мостики, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π΅ Ρ€Π°ΡΡΡ‹ΠΏΠ°Π»ΠΈΡΡŒ. Для ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π±Π΅Π· ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ вмСсто Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° свСрлят ряд отвСрстий с малСньким шагом. Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ΅ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… (Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…) отвСрстий Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ происходит Π½Π° этом этапС.

Π‘ΠΌ. Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅: Π“ΠžΠ‘Π’ 23665-79 ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Π°. ВрСбования ΠΊ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ тСхнологичСским процСссам.

По Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΌΡƒ тСхпроцСссу ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΎΡ‚ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ происходит ΡƒΠΆΠ΅ послС ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

ΠœΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Пайка являСтся основным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Пайка ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ паяльником, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ.

Установка ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Установка ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π½Π° ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π°Ρ…-установщиках. АвтоматичСская установка ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ Π²Π΅Ρ€ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ошибки ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ускоряСт процСсс (Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠ΅ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Ρ‹ ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ нСсколько ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π² сСкунду).

Пайка Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Основной ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ для Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ мСханичСских Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² создаётся длинная Π²ΠΎΠ»Π½Π° расплавлСнного припоя. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρƒ проводят Π½Π°Π΄ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π²ΠΎΠ»Π½Π° Π΅Π΄Π²Π° ΠΊΠΎΡΠ½ΡƒΠ»Π°ΡΡŒ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ Π·Π°Ρ€Π°Π½Π΅Π΅ установлСнных Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΡΠΌΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠ°ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅. Ѐлюс наносится Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π³ΡƒΠ±Ρ‡Π°Ρ‚Ρ‹ΠΌ ΡˆΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Π»Π΅ΠΌ.

Пайка Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ…[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Основной ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². На ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ наносится ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ паяльная паста (ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ припоя Π² пастообразном Ρ„Π»ΡŽΡΠ΅). Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ с установлСнными ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡŽΡ‚ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ‡ΡŒ, Π³Π΄Π΅ Ρ„Π»ΡŽΡ паяльной пасты активизируСтся, Π° ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ припоя плавится, припаивая ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚.

Если Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² выполняСтся с Π΄Π²ΡƒΡ… сторон, Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° подвСргаСтся этой ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Π΅ Π΄Π²Π°ΠΆΠ΄Ρ‹Β β€” ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ для ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ стороны ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. ВяТСлыС ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° капСльки клСя, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΈΠΌ ΡƒΠΏΠ°ΡΡ‚ΡŒ с ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π²Π΅Ρ€Π½ΡƒΡ‚ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π²ΠΎ врСмя Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. Π›Π΅Π³ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΡƒΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ Π·Π° счёт повСрхностного натяТСния припоя.

ПослС ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ растворитСлями с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ удалСния остатков Ρ„Π»ΡŽΡΠ° ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… загрязнСний, Π»ΠΈΠ±ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π±Π΅Π·ΠΎΡ‚ΠΌΡ‹Π²ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ паяльной пасты, ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π° сразу для Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… условий эксплуатации.

Π€ΠΈΠ½ΠΈΡˆΠ½Ρ‹Π΅ покрытия[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ПослС ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ с ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ составами: Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΎΡ„ΠΎΠ±ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ, Π»Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π£Π -231), срСдствами Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ². Π’ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… случаях для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² условиях ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ†Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π·Π°Π»ΠΈΡ‚Π° Π² Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΡƒΠ½Π΄.

Π˜ΡΠΏΡ‹Ρ‚Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Для массового ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ производства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ контроля качСства.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… соСдинСний, ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΡƒ элСктричСских соСдинСний Π½Π° отсутствиС ΠΎΠ±Ρ€Ρ‹Π²ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ качСства ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ оптичСскиС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ контроля. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° выполняСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ спСциализированных стСндов с Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ высокого Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ. Π‘Ρ‚Π΅Π½Π΄Ρ‹ Π²ΡΡ‚Ρ€Π°ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ линию Π½Π° этапах:

  • контроля рисунка ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² отвСрстий.
  • контроля равномСрности ΠΈ Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ нанСсСния паяльной пасты.
  • контроля точности установки ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².
  • контроля Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ (оплавлСния припоя ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ). Π’ΠΈΠΏΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ, выявляСмыС оптичСскими систСмами:
    • Π‘ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π² процСссС ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ.
    • ΠšΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠ΅ замыкания.
    • НСдостаток ΠΈ ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΊ припоя.
    • ΠšΠΎΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

ПодлоТки Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Π½Π΅Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΅Π΅ Π½Π° ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ тСхпроцСссы:

  • Волстоплёночная тСхнология: ШСлкографичСскоС нанСсСниС рисунка ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ пастой с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ спСканиСм пасты Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ. ВСхнология позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡƒΡŽ Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² благодаря возмоТности нанСсСния Π½Π° слой ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² слоя изолятора Ρ‚Π΅ΠΌΠΈ ΠΆΠ΅ ΡˆΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ толстоплёночныС рСзисторы.
  • Вонкоплёночная тСхнология: Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² фотолитографичСскими ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π»ΠΈΠ±ΠΎ осаТдСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚.

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ корпуса элСктронных микросхСм ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ с ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π»Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… микросхСм.

ΠœΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠ»Π°Π²ΠΈΠ°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ часто Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ°Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡˆΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΈ спСкания Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ пастами.

  • ΠŸΠΈΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ²Π° Π•. Π’. ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ тСхнология ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚: Π£Ρ‡Π΅Π±Π½ΠΈΠΊ.Β β€” М.: ЀОРУМ: ИНЀРА-М, 2005.Β β€” 560 с.Β β€” (Π’Ρ‹ΡΡˆΠ΅Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅).Β β€” ISBN 5-16-001999-5.Β β€” ISBN 5-8199-0138-X.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π‘Ρ‚Ρ€Π΅ΠΌΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Π½Π΅Π΄Ρ€ΡΡΡΡŒ Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ отрасли радиоэлСктронной Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΊΠ»Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ β€” ΠΎΡ‚ самых слоТных комплСксов управлСния Π΄ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ устройств Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ назначСния, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма Π² Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ»Π° сфСры Π΅Π΅ примСнСния Π² радиоэлСктронных срСдствах, обСспСчив Ρ‚Π΅ΠΌ самым Π³Ρ€ΠΎΠΌΠ°Π΄Π½Ρ‹Π΅ экономичСскиС эффСкты ΠΎΡ‚ Π΅Π΅ использования.
ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π’ совокупности с этими Π½ΠΎΠ²ΡˆΠ΅ΡΡ‚Π²Π°ΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»Π° острая ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Π² прСдоставлСнии ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌΡƒ Ρ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΌΡƒ ΠΊΡ€ΡƒΠ³Ρƒ, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅Β­ΡΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ новаторскими Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π² элСктроникС ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ Π² отрасли, с практичСскими вопросами ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ созданы Π² отС­чСствСнной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, с особыми условиями Π² конструировании ра­диоэлСктронной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΈΡ… основС.
Π’ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ радиоэлСктронной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ всС большС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микропроцСссоры.
ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π‘Ρ‚Π°Π»ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ появлСниС ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ… отСчСствСнных ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ-Π­Π’Πœ.

Π’ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ Ρ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΡƒΠ΄ΠΈΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ ΠΊΠ½ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠΌ рСсурсС ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Ρ‹ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π° ΠΏΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Β­Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ микросхСмам, выпускаСмых отСчСствСнной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ основныС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹, рассмотрСны конструктив­ныС измСнСния Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² микросхСм. Π˜Π·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Ρ‹ составы Π² основной сСрии Π°Π½Π°Β­Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСм, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ ряд особСнностСй ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ микросхСм Π² тСхничСских Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ… Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠžΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ особСнности Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… конструкциях ΠΈ эксплуатации ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСмах.

Π’ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ, основная Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° ΠΊΠ½ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ издания — ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ тСхничСскиС возмоТности ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΈ условий ΠΈΡ… эксплуатации Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ практичСского ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π°.


Π‘ΠΊΠ°Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ½Π»Π°ΠΉΠ½

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Доставка Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… самодСлок Π½Π° ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚Ρƒ

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΠΉΡ‚Π΅ Π½Π° ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡ€ΠΊΡƒ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… самодСлок. Никакого спама, Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ΄Π΅ΠΈ!

*Заполняя Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Π²Ρ‹ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡˆΠ°Π΅Ρ‚Π΅ΡΡŒ Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€ΡΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…

Π‘Ρ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅ΡΡŒ Π°Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ сайта, ΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΡƒΠΉΡ‚Π΅ собствСнныС ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠΈ, описания самодСлок с ΠΎΠΏΠ»Π°Ρ‚ΠΎΠΉ Π·Π° тСкст. ΠŸΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅ здСсь.

Π”ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉ

Π’Π°Ρˆ адрСс email Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½. ΠžΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ поля ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ *